主要清洗半導體行業(yè)的金屬零部件,在加工過程中出現(xiàn)的油污,灰塵等污染物。
半導體產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代電子工業(yè)的核心,而半導體產(chǎn)業(yè)的基礎是硅材料工業(yè)。雖然有各種各樣新型的半導體材料不斷出現(xiàn),但 90%以上的半導體器件和電路,尤其是超大規(guī)模集成電路(ULSI)都是制作在高純優(yōu)質(zhì)的硅單晶拋光片和外延片上的。
普通的清洗方法一般不能達到孔內(nèi),而孔內(nèi)芯料的反應生成物及其他污染物會在后序工藝中會產(chǎn)生重復污染。無論是采用有機溶劑或是清洗液清洗都容易引入新的污染源,然而利用超聲波清洗技術卻可以實現(xiàn)無重復污染,而且能深入MCP孔內(nèi)的效果。
產(chǎn)品特點:
1、一體式設計,緊湊,操作方便;
2、流動式操作,避免產(chǎn)品刮花;
3、配置過濾系統(tǒng),有效節(jié)約水源;
4、不銹鋼網(wǎng)帶傳輸,清洗效果徹底,清洗效率超高;
5、配置油水分離及過濾系統(tǒng),提供清洗劑的利用率;
6、操作簡單,具有手動和自動轉(zhuǎn)換功能;
7、PLC全程式控制,清洗+干燥;